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The economical choice for innovative research
Park XE7配有Park Systems的所有顶尖技术，而且价格十分亲民。与Park Systems的其他高级型号相比，XE7在细节的设计上也相当用心，是帮助您准时且不超预算地完成研究的理想之选。
Accurate XY Scan by Crosstalk Elimination
Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置，并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材，其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品（1 kg左右），频率最高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求，因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率（约10 kHz)。XE scan system
- 适用于样品和探针尖端的独立XY轴和Z轴柔性扫描器
XY flexure scanner
- 平直正交的XY轴扫描，残余弯曲低
XE-Peformence
图9. (a)表示Park Systems XE系统的背景曲率为零，而(b)是传统的原子力显微镜系统的管式扫描器的典型背景曲率，(c)展示了这些背景曲率的横截面。
图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时，未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料，因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率，因此当X轴的位置移动15 μm时，平面外移动最大可达80 nm。而在相同的扫描范围内，XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体（二乙烯苯）的图像，其直径大约为5 µm。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准，探针可以精确地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动，而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。
规格参数
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