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【技术参数】
型号
SMIM150-G5
制造厂商
PrimeNano
探针描述
同轴氮化硅探针
类型
电学模式
应用
SMIM(扫描微波);扫描电容模式;导电模式
【产品详情】
Lever
1
2
3
4
Spring k (N/m)
8 (7 - 9)
-
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-
Freq (kHz)
75 (70 - 80)
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-
Length (µm)
150 (145 - 155)
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Width (µm)
50 (47 - 53)
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Thickness (µm)
3.6 (3.3 - 3.9)
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Shape
rectangular
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Material
Silicon
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Reflex Coating (nm)
TiW/Au (500)
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针尖描述
Tip radius (nm)
50 +/- 10
Tip height (µm)
5 +/- 0.5
Front angle (°)
35 +/- 1
Back angle (°)
35 +/- 1
Side angle (°)
35 +/- 1
Tip shape
4-sided
Tip material
TiW
Tip coating (nm)
none
规格参数