F60系列
生产环境的自动测绘Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。.
型号 测试厚度范围 波长选配
F60-t 20nm-70µm 380-1050nm F60-t-UV 5nm-40µm 190-1100nm F60-t-NIR 100nm-250µm 950-1700nm F60-t-EXR 20nm-250µm 380-1700nm F60-t-UVX 5nm-250µm 190-1700nm F60-t-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm F60-t-s980 4µm-1mm 960-1000nm F60-t-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm F60-t-s1550 10µm-3mm 1520-1580nm 产品配置
•集成平台/光谱仪/光源装置（不含平台）
•4", 6" and 200mm 参考晶圆
•TS-SiO2-4-7200 厚度标准
•真空泵
•备用灯
配件选用
可追溯的 NIST 厚度标准
F60 平台 - 200mm, and 300mm F60 平台 - 200mm, and 300mm
规格参数
