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商品描述:

规格参数

 F30系列

监控薄膜沉积,最强有力的工具

F30 光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。 

样品层

分子束外延和金属有机化学气相沉积: 可以测量平滑和半透明的,或轻度吸收的薄膜。 这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。

 

型号 测试厚度范围 波长选配
F30 15nm-70µm 380-1050nm
F30-EXR 15nm - 250µm 380-1700nm
F30-NIR 100nm - 250µm 950-1700nm
F30-UV 3nm-40µm 190-1100nm
F30-UVX 3nm - 250µm 190-1700nm
F30-XT 0.2µm - 450µm 1440-1690nm

产品配置

•极大地提高生产力
•低成本 —几个月就能收回成本
•A精确 — 测量精度高于 ±1%
•快速 — 几秒钟完成测量
•非侵入式 — 完全在沉积室以外进行测试
•易于使用 — 直观的 Windows™ 软件
•几分钟就能准备好的系统
 
配件选购
 
镜头组 
规格参数
  • 商品货号: C1-4805-112
  • 商品品牌: Filmetrics
  • 商品重量: 20.000千克
  • 上架时间: 2019-04-02
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