型号及主要参数
厂家：FEI（美国）
型号：FEI-Scios 2 Hivac
主要参数：
离子束分辨小于3nm@30KV
电子束分辨率：workspace<1nm@15KV，workspace<1.6nm@15KV
样品XY方向移动范围不低于110nm，Z方向不低于60 nm，可绕Z轴旋转任（360°）
意角度倾斜角度T范围不小于-15到90°
用途及功能：
扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌，
聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、表面修饰、TEM制样
刻蚀能谱仪主要用于样品元素分析
特点：
离子束与电子束双束，实现聚焦离子束FIB切割与SEM形貌同步观察
放大倍数：
60-20000
规格参数
