镜、X射线反射镜
NTT-AT已提供了20 多年高质量XUV、EUV和X射线反射镜。尤其是利用本公司的丰富经验和出色技能，提供可定制设计的多层膜反射镜，满足各用户的需求。
￭标准产品列表
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应用示例
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基板材料
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典型波长
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EUV光刻
高阶谐波应用
阿秒科学
X射线激光器
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多层反射镜
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Mp/Si
Ru/Si
Zr/Al
SiC/Mg
Cr/C
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50电子伏至100电子伏
50电子伏至100电子伏
50电子伏至70电子伏
25电子伏至50电子伏
至300电子伏
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XUV（EUV）
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反射镜
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单层反射镜
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SiC
Pt
Ru
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10电子伏至100电子伏
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X射线反射镜
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同步加速器应用
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多层反射镜
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W/C
W/B4C
Ru/C
Pt/C
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1k电子伏至30k电子伏
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XFEL应用
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内置X射线无损
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检查设备
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单层反射镜
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C
B4C
SiC
Cr
Ni
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1k电子伏至30k电子伏
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￭XUV多层反射镜（EUV多层反射镜）
基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面
基板材料：石英、硅、zero dewer等
多层膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/C等
基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米
Mo/Si多层反射镜具有接近13纳米（90电子伏）波长的高反射率。NTT-AT的Mo/Si多层反射镜具有高达70％的正入射反射率。
NTT-AT的XUV反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。
