品名 3D共聚焦显微镜 型号 VK-X250型 制造商 基恩士公司 主要功能 3D共聚焦显微镜用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。可针对如下需求开展测试:(1)精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸、刀口等。 技术指标 1)光学相机(3CCD)拍摄分辨率不低于700万像素;2)垂直方向测量范围:>1.0mm3)Z轴行程:50 mm4)垂直分辨率:<10nm5)水平分辨率: 0.2μm
规格参数