4009206077
购物车 0
您购物车暂商品,赶紧选购吧!
F40显微膜厚测量仪(SHNTI)
F40显微膜厚测量仪(SHNTI)
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的显微光学膜厚测试系统。欢迎咨询,价格面议,电话:021-64283335,邮箱:admin@shnti.com
¥0
(会员等级价V)
普通用户: ¥0
签约会员: ¥0
办事处: ¥0
经销商: ¥0
内部: ¥0
总销售量:38件

商品描述:

规格参数

       KLA 的 Filmetrics 系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量,其测量范围从 nm-mm,可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚精确测量,被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics 具有 F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60- t 等多款产品,可测量从几 mm 到 450mm 大小的样品,薄膜厚度测量范围1nm到mm级。F40用于测量光斑 <1µm 的薄膜膜厚。

       测量原理-光谱反射

       光谱椭圆偏振仪 (SE) 和光谱反射仪 (SR) 都是利用分析反射光确定电介质,半导体,和金属薄膜的厚度和 折射率。 两者的主要区别在于椭偏仪测量小角度从薄膜反射的光, 而光谱反射仪测量从薄膜垂直反射的光。光谱反射仪测量的是垂直光,它忽略偏振效应 (绝大多数薄膜都是旋转对称)。 因为不涉及任何移动设备,光谱反射仪成为简单低成本的仪器。光谱反射仪可以很容易整合加入更强大透光率分析。光谱反射仪通常是薄膜厚度超过 10um 的首选,而椭偏仪侧重薄于10nm 的膜厚。在 10nm 到 10um 厚度之间,两种技术都可用。 而且具有快速,简便,成本低特点的光谱反射仪通常是更好的选择。

 

 

 

    主要应用

 

 

    测量厚度、折射率、反射率和穿透率:

 

 

 

    • 单层膜或多层膜叠加
    • 单一膜层
    • 液态膜或空气层

 

 

    技术能力

 

 

    光谱波长范围:190-1700 nm

 

 

    厚度测量范围:1nm-250 μm

 

 

    测量n&k小厚度:50 nm

 

 

    准确度:取较大值,1nm或0.2%

 

 

    精度:0.02nm

 

 

    稳定性:0.05nm

 

 

    光斑大小:小可达0.5µm

 

 

    样品尺寸:直径从1mm到300mm或更大

 

 

    半导体薄膜:光刻胶、工艺薄膜、介电材料

 

 

    液晶显示:OLED、玻璃厚度、ITO

 

 

    光学镀膜:硬涂层厚度、减反涂层

 

 

    高分子薄膜:PI、PC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Tel:021-64283335

Email:admin@shnti.com

规格参数
  • 商品货号: SHNTI-F40
  • 商品品牌: KLA-Filmetrics
  • 商品重量: 60.000千克
  • 上架时间: 2022-11-10
  • 浏览历史
    所有分类
    畅销排行Top10
    爱实验精选

    提交需求,我们会尽快联系您

    联系电话:4009206077