Zeta-20 台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot™ 技术和 Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。
Zeta-20 的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™ 测量模式可同时采集分辨率 3D 数据和 True Color（真彩）无限远焦点图像。其他3D 测量技术包括白光干涉测量、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot 或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-20 也是显微镜，可用于样品复检或自动缺陷检测。 Zeta-20 通过提供台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，适用于研发及生产环境。
主要功能
台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度
纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度
外形：3D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力
薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度
缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷
缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
技术特点
Zeta-20 是采用 ZDot 和 Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用：
- 可用于样品复检或缺陷检测
- Z-Dot：同时采集分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像
- ZXI：白光干涉测量技术，适用于Z向分辨率高的广域测量
- ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
- ZSI：剪切干涉测量技术提供z向图像
- ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
- AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化
- 生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量
技术能力
肖特玻璃-表面粗糙度
可用来测试玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度。
太阳能电池–不同反射率表面形貌测量
轻松获得复杂差异化反射率样品的表面形貌。
MEMS器件–台阶高度和粗糙度
小尺寸样品nm级台阶精度，大尺寸样品的亚微米台阶精度。
镜头-完整的表面轮廓
图像拼接功能，可获得大面积样品的完整表面轮廓。
高分子薄膜-膜厚测量
可用于PI和PR薄膜的厚度测量，并可生成整片晶圆上的膜厚mapping。
蓝宝石-图案化晶片表面缺陷
可对特定缺陷进行三维轮廓扫描并进行相关测量，并对晶圆表面缺陷按尺寸、亮度、长宽比等进行分布统计并生成mapping。
部分用户
- 南京大学
- 南京邮电大学
- 麻省理工学院
- 加州大学达拉斯分校
- 耶鲁大学
- 德州大学奥斯汀分校
- 西部数据
- 应用材料
- 博世
- 莱彻斯特大学
- 希捷
相关文献
1. Maxym V.Rukosuyev, et al. One-step fabrication of superhydrophobic hierarchical structures by femtosecond laser ablation. Applied Surface Science. 2014,313,411-417.
2. H. N. Shubha, et al. Preparation of Self Assembled Sodium Oleate Monolayer on Mild Steel and Its Corrosion Inhibition Behavior in Saline water. ACS Appl. Mater. Interfaces .2013,5,21,10738-10744.
3. Marta Palacios-Cuesta, et al. Fabrication of Functional Wrinkled Interfaces from Polymer Blends: Role of the Surface Functionality on the Bacterial Adhesion. Polymers. 2014, 6,11, 2845-2861.
4. Alberto Gallardo, et al. Chemical and Topographical Modification of Polycarbonate Surfaces through Diffusion/Photocuring Processes of Hydrogel Precursors Based on Vinylpyrrolidone. Langmuir .2017,33 ,7, 1614-1622.
5. Aurora Nogales, et al. Wrinkling and Folding on Patched Elastic Surfaces: Modulation of the Chemistry and Pattern Size of Microwrinkled Surfaces. ACS Appl. Mater. Interfaces. 2017,9,23,20188-20195.
6. Olga Kraynis, et al. Suitability of Raman Spectroscopy for Assessing Anisotropic Strain in Thin Films of Doped Ceria. Adv. Funct. Mater. 2019, 1804433,2-7.
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