对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率，越来越多的行业需要超平的介质和基板来满足不断缩小的设备需求，Park NX-HDM原子力显微镜系统具有业界低0.5埃噪音，并将与其真正的非接触式模式相结合实现亚埃级表面粗糙度的测试。
基本技术参数
200 mm电动XY平台
电动Z平台
噪音
行程可达150mm x 150mm,
2 μm重现性 0.095nm分辨率
25 mm Z行程距离
0.1μm 分辨率 小于1μm 重现性
小于 0.5 μm/s
尺寸&重量
控制箱
设备需求环境
880（w）x 880（d）x 880（h）
620kg
600（w）x 900（d）x 1330（h）
170kg
室温10 ℃~40 ℃
操作18 ℃~24 ℃
湿度 30%~60%
主要功能
1) 快速自动缺陷检测功能
2) 亚埃级表面粗糙度的测量
3) 有小的热漂移，自动分析测量的数据
4) 在线监测测试过程，
应用
自动检测缺陷
相关文献
Foucher; R Therese; Y. Lee; S.-I. Park; S-J. Proc. SPIE 8681,Metrology, Inspection, and Process Control for MicrolithographyXXVII, 868106 (April 18, 2013); doi:10.1117/12.2011463
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规格参数
