M系列探针台简易轻便，占有空间小且移动方便。在保证测试精度的前提下，又极具性价比，非常适合高校教学实验使用。如果测试器件的PAD点大于30μm，M系列则是其中的主选设备之一。该设备能胜任各种DC直流，至67GHz的RF射频，MEMS等测试应用。
基本信息
产品型号 M4 工作环境 开放式 电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台 产品尺寸 650*490*620mm 设备重量 约45KG
应用方向
广泛应用于DC直流/（IV、CV、I-t、V-t），DC直流/低电流（100fA级）测试 ，1/f噪声测试 ，器件表征测试，RF射频等
型号
M4
M6 mini
M6
外形（长*宽*高）
650*490*620mm
650*490*620mm
650*490*620mm
重量（KG）
约45kg
约47kg
约52kg
电力需求
220VC,50~60Hz
卡盘
常温标准
卡盘尺寸
4"
6"
6"
样品固定方式
环形真空吸附（可定制多孔吸附）
背电极测试功能
有/样品台电学独立悬空
卡盘材质
316#不锈钢（可选黄铜镀镍or镀金）
卡盘
移动平台
X-Y行程
100*100mm
150*150mm
150*150mm
移动精度
10μm
Theta行程
360°旋转（粗调）；微调范围±8°，微调精度0.002°
卡盘升降
N/A
卡盘快速拉出
N/A
控制方式
小型旋钮驱动
针座平台
平台尺寸
长540mm*宽310mm
卡盘到平台距离
8mm（卡盘上表面与针座平台下表面）
针座数量
最多可放置6针座（DC×6/RF×4,DC×2)
针座平台升降
N/A
针座定位方式
磁力吸附或真空吸附
光学特性
显微镜规格
标配体视显微镜（可选配视频显微镜）
放大倍数
16~100X
CCD像素
3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字）
显微镜控制行程
显微镜调焦架控制可360度旋转，Z轴：50.8mm
显微镜移动精度
N/A
镜头切换方式
N/A
点针规格
X-Y-Z行程
12mm-12mm-12mm
机械精度
10μm/2μm/0.7μm
漏电精度
10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
接口形式
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口
Tel:021-64283335
Email:admin@shnti.com
规格参数
