C12高低温探针台具有优异的机械系统，结构性能稳定，人体工程学设计，操作便捷，支持多功能升级，功能丰富全面。该产品主要应用于集成电路，LED，LCD，太阳能电池，半导体行业的制造和研究领域。
基本信息
产品型号 C12 工作环境 高低温环境 电力需求 220VC,50~60Hz 操控方式 手动 产品尺寸 长宽高：1400mm*920mm*920mm 设备重量 150KG/170KG/250KG
应用方向
高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，材料/器件的IV/CV特性测试、0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试、高频、射频测试等
>卡盘XY移动平台（标准配置）
XY行程范围
300 mm x300 mm (12"x12")
XY最佳行程
300mm x 300 mm（满足大范围行程测试）
移动精度/分辨率
< 1.0 µm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev)
平面性
<10µm
theta行程
粗调：360°
微调精度：± 8.0° (optional)*
分辨率：7.5 x 10-3 gradient
运动控制
气控+无牙螺母控制
Z轴升降
快速升降：3mm
微调升降：0-13mm,精度：≤2µm
>针座平台
材料
钢镀镍
尺寸
见产品尺寸介绍第8页
最大针座数量
8 DC and 4 RF(取于针座配置)
卡盘到针座平台下底面最佳距离
Z-height运动范围
Max.0-40mm (取于卡盘配置)
Separation lift
3段：分离(300µm)，Load装载(5mm),不间断升降（0-40mm)
接触重复性
< ±1µm (0.08 mils)
RF 针座固定
磁力吸附/真空吸附
DC 针座固定
磁力吸附/真空吸附
Tel:021-64283335
Email:admin@shnti.com
规格参数
