Berkovich玻氏压头 (Modified Berkovich)
中心线与棱面夹角(α):65.03°(65.27°)
边长/深度(l/h):7.5315
投影面积 Ap(h):24.56h2 (h>100nm)
体积-深度关系V(h): 8.1873h3
体积-面积关系V(A): 0.067A3/2
投影/表面面积(Ap/As):0.908
等效半锥角(α): 70.32°
尖端曲率半径(r):≤50nm(典型值:20~30nm左右)
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规格参数