产品介绍
采用肖特基场发射电子枪 （FEG） 技术。先进的全柱加速技术集成到电子光学柱中 ，确保在低加速电压下具有出色的成像性能，实现各种材料的高分辨率成像。多 探测器系统高效收集样品发出的各种电子信号 进行成像，最大限度地揭示样品的微观形态和结构信息。
产品特点
卓越的电子光学设计
● 肖特基场发射电子枪可确保光束稳定性和高成像分辨率。
● 全柱加速技术可确保电子束在低加速电压下的高成像性能。
● 复合透镜设计结合了静电场和磁场。物镜无磁场泄漏，确保磁性样品的高质量成像。
全面的信号采集系统
● 同时收集包括两种类型的二次电子、背散射电子和透射电子信号。
● 形态学和成分对比的同时呈现，最大程度地揭示了样品的微观形态和成分信息。
● 模块化设计，具有可扩展的系统架构。
● 可根据具体应用需求提供定制解决方案
● 多个端口兼容EDS、EBSD、WDS、CL、原位实验装置等各种第三方配件，实现成像和分析
规格参数
规格
参数
分辨率
1.0nm @15 kV，1.5nm@1kV
加速电压
0.02-30kV
放大
1-2,000,000 倍
探头电流
1 pA-20 nA
图像大小
256*256-16k*16k 像素
样品室
内径：330 mm，高度：260 mm EDS、EBSD、CL 的标准端口
样品台
高精度 5 轴自动平台
载物台移动范围
X=125 mm，Y=125 mm，Z=50 mm，R=360°连续，T=-5-70°
检测系统
ET 检测器
Inlens 探测
BSD 检测器
STEM 探测器
操作系统
用户友好的界面，符合人体工程学的控制面板设计
案例
规格参数
