H12探针台具有优异的机械性能和的测试功能，其卡盘移动技术，可满足客户对整片晶圆高效测试的需求；同时基于UPStart™模块化开放式设计，H系列可搭配不同的套件实现更宽泛的测试功能，H系列6" 8" 12"探针台非常适合研发类实验室的一次性预算购置。
基本信息
产品型号 H12 工作环境 开放式 电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台 产品尺寸 1046MM长*987MM宽*828MM高 设备重量 约400KG 应用方向
DC 直流/（IV、CV）测试、低电流（100fA 级）测试、1/f 噪声测试、FA 失效分析测试、器件表征测试、WLR 可靠性、老化测试、RF 射频测试、大功率/大电流及/大电压测试等。
>卡盘移动平台（标准配置）
XY行程范围
300 mm x 300 mm (12"x12")
XY最佳行程
300mm x 300 mm（满足大范围行程测试）
移动精度/分辨率
< 1.0 µm (~1 mm/rev)
平面性
<10µm
theta行程
粗调：360°
微调精度：± 8.0°
分辨率：7.5 x 10-3 gradient
运动控制
气控+大手柄控制
Z轴快速升降
快速升降：3mm
微调升降：0-13mm,精度：≤2µm
>手动显微镜平台
移动范围
50 mm x 50 mm
移动分辨率
≤2µm
显微镜Z升降
25mm-100mm *取决于显微镜配置
气动升降50mm
运动控制
独立控制的X和Y旋钮
>针座平台
材料
钢镀镍
尺寸
见产品尺寸介绍/17页
最大针座数量
8 DC and 4 RF(取于针座配置)
卡盘到针座平台下底面最佳距离
8mm（卡盘上表面与针座平台下表面）
Z-height运动范围
Max.0-40mm (取于卡盘配置)
针座平台升降
3段：分离(300µm)，卡盘装载(5mm),不间断升降（0-40mm)
接触重复性
< ±1µm
RF 针座固定
磁力吸附/真空吸附
DC 针座固定
磁力吸附/真空吸附
Tel:021-64283335
Email:admin@shnti.com
规格参数
