E 系列是一款功能进阶级探针台，能实现 1μm 以上的电极 Pad 测试，工效学设计简单易操作，灵活的 UPStart™ 模块化设计， 客户可通过最低的成本升级更多的测试功能，如：毫米波 mmW，FA、MEMS、WLR 和光电等测试。
基本信息
产品型号 E6 工作环境 开放式 电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台 产品尺寸 680mm长*670mm宽*760mm高 设备重量 约95KG 应用方向
LD/LED/PD的光强/波长测试、晶圆二极管、三极管测试、PCB元器件测试、材料/器件的IV/CV特性测试、、功率器件测试、MEMS器件测试、射频测试等
型号
E4
E6
E8
E12
外形（长*宽*高/mm）
680*670*760mm
680*670*760mm
750*670*800mm
1030*800*850mm
重量（KG）
约90kg
约95kg
约110kg
约210kg
电力需求
220VC,50~60Hz
卡盘
常温标准
卡盘尺寸
4"
6"
8"
12"
样品固定方式
环形真空吸附（可定制多孔吸附）
背电极测试功能
有，样品台电学独立悬空
卡盘材质
316#不锈钢（可选黄铜镀镍or镀金）
卡盘
移动平台
Theta行程
360°旋转（粗调）；微调范围±8°，微调精度0.002°
卡盘升降
卡盘台可以上下快速升降5mm，微调升降行程6mm，精度1μm
X-Y行程
100*100mm
150*150mm
200*200mm
250*250mm
移动精度
10μm
卡盘快速拉出
N/A
控制方式
小型旋钮驱动
针座平台
外形尺寸
长550mm*宽405mm
长720mm*宽405mm
长980mm*宽480mm
卡盘到平台距离
8mm（卡盘上表面与针座平台下表面）
针座数量
最多可放6个针座
最多可放8个针座
最多可放10个针座
针座平台升降
N/A
针座定位方式
磁力吸附或真空吸附
光学特性
镜头规格
标配PSM-1000金相显微镜/可选（GX-6金相，体视，视频）显微镜
放大倍数
20-2000X
CCD像素
3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字）
运动控制
Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1μm
显微镜行程
显微镜2英寸XY平移台范围内移动
显微镜移动精度
点针规格
X-Y-Z行程
12mm-12mm-12mm
机械精度
10μm/2μm/0.7μm
漏电精度
10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
接口形式
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口
Tel:021-64283335
Email:admin@shnti.com
规格参数
