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光学表面缺陷分析仪Lumina测试(非真实价格,请联系客服)
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商品描述:

规格参数

Lumina AT1结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与表面斜率等基本原理,以非破环性方式对Wafer表面的残留异物,表面与表面下缺陷,形状变化和薄膜厚度的均匀性进行检测。

1.偏振通道用于薄膜、划痕和应力点;

2.坡度通道用于凹坑、凸起;

3.反射通道用于粗糙表面的颗粒;

4.暗场通道用于微粒和划痕;

测试功能:

1. 缺陷检测与分类

2. 缺陷分析

3. 薄膜均一性测量

4. 表面粗糙度测量

5. 薄膜应力检测

规格参数
  • 商品货号: MN_Lumina
  • 商品品牌: Lumina
  • 商品重量: 0克
  • 上架时间: 2022-11-23
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