Lumina AT1结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与表面斜率等基本原理，以非破环性方式对Wafer表面的残留异物，表面与表面下缺陷，形状变化和薄膜厚度的均匀性进行检测。

1.偏振通道用于薄膜、划痕和应力点；

2.坡度通道用于凹坑、凸起；

3.反射通道用于粗糙表面的颗粒；

4.暗场通道用于微粒和划痕；

测试功能：

1. 缺陷检测与分类

2. 缺陷分析

3. 薄膜均一性测量

4. 表面粗糙度测量

5. 薄膜应力检测

规格参数

商品货号： MN_Lumina

商品品牌： Lumina

商品重量： 0克

上架时间： 2022-11-23